柔性铰链位移台 - 压电致动- 压电致动- 安徽见行科技有限公司

支持多轴运动，内置高精度电容传感器，纳米级位置控制，支持定制化设计。

全部单轴台双轴台多轴台物镜台

单轴压电柔性铰链位移台

闭环行程100μm、500μm可选

分辨率最高0.5nm

内置电容传感器

线性误差0.02%FS

紧凑型高动态单轴压电位移台

闭环行程15μm

分辨率0.3nm

内置电容传感器

线性误差0.03%FS

微型单轴压电位移台

闭环行程15μm

分辨率0.5nm

内置电容传感器

线性误差0.03%FS

Z轴压电位移台

闭环行程250µm

分辨率0.3nm

内置电容传感器

线性误差0.03%FS

紧凑型Z轴压电位移台

闭环行程100μm

分辨率1nm

线性误差0.03%FS

内嵌式安装孔位设计

单轴大负载压电柔性铰链平台

闭环行程200μm

分辨率达到1nm

内置电容传感器线性0.03%FS

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与见行并肩，齐绘精密定位新蓝图

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