柔性铰链导向，无磨损，使用无需维护
采用经过有限元分析优化的柔性铰链放大机构
紧凑型设计，适合空间受限的集成系统
电容传感器直接测量动定子相对位移，精度更高
• 高精度的一维Z向纳米运动平台
• 支持不同运动行程定制，行程覆盖50~250μm
• 内置电容传感器，闭环运动下线性度0.02％FS
• 通过内部放大方案，结构紧凑行程大
