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压电致动
PJ2025 Z轴压电位移台
纳米级位置控制，内置高精度电容位移传感器，垂直精密定位
柔性铰链导向，无磨损，使用无需维护
采用经过有限元分析优化的柔性铰链放大机构
紧凑型设计，适合空间受限的集成系统
电容传感器直接测量动定子相对位移，精度更高
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产品概述
• 高精度的一维Z向纳米运动平台
• 支持不同运动行程定制，行程覆盖50~250μm
• 内置电容传感器，闭环运动下线性度0.02％FS
• 通过内部放大方案，结构紧凑行程大
应用领域
纳米定位
半导体技术
干涉测量
显微成像
生物技术
产品特点
