直流无刷、步进电机、永磁同步直线电机驱动,配备高精度光栅可进行微、纳米级位移输出,行程、负载、速度参数支持定制,支持真空应用。
LEB-Z-26.HL为大负载单轴Z向电机
电机内部集成驱动、通信模块,无需额外控制器
大负载设计,可达20kg
空载最小位移增量20nm
支持参数定制和提供真空兼容版本
LEB-X-50.P为大负载单轴X向电机
电机内部集成驱动、通信模块,不需要额外控制器
高精度控制,最小位移增量可达20nm
ES-50是一款高精度的一维X向纳米运动平台
采用两相步进电机驱动,输出转矩大、稳定性高
丝杆端部配有滚花手轮,实现在线跟离线调节一体化
主体材质铝合金,表面黑色阳极氧化
运动行程可达130mm
采用无铁芯直线电机驱动,无齿槽效应
采用交叉滚柱导轨,支持定制防蠕动交叉滚柱导轨
支持定制不同分辨率的光栅尺,达到低速高精定位相关应用
L-90S是薄型一维运动平台总厚度为26.5mm
可实现高动态响应与微米级定位精度
搭配高刚性交叉滚柱导轨(可定制防蠕动型号)
采用无铁芯直线电机直驱技术,运动无齿槽效应