闭环最小步距达5nm,可实现精准定位
双向重复精度优于±120nm,高运动一致性
支持二维组合扩展,多轴协同实现高动态扫描
保持力可达5N,具有高稳定性
保持力3N
驱动力2N
闭环最小步距5nm
真空兼容版本可选