闭环最小步距达5nm，可实现精准定位
双向重复精度优于±120nm，高运动一致性
支持二维、三维组合扩展，多轴协同实现高动态扫描
高真空兼容
• 行程16/36/50mm可选，支持定制
• 惯性驱动和光栅闭环，适用高精密线性定位场合
• 结构紧凑，宽度仅为24mm，高度12mm
• 定制化易用控制软件，实时位移可视化，兼容多样化波形编辑
