PJ12015-S 微型单轴压电位移台
纳米级位置控制,内置高精度电容位移传感器,毫秒级响应

闭环行程15μm

分辨率0.5nm

内置传感器线性0.03%FS

  • 产品概述
  • 产品规格
产品概述

• PJ12015-S是一款紧凑型一维压电位移台

• 结构紧凑,适合狭小空间应用

• 采用直驱设计,动态性能高

• 应用场景广泛,可水平、竖直、倒立安装

应用领域
自动对焦系统
干涉测量
测量技术
半导体检测
共聚焦显微镜
自动对焦系统
干涉测量
测量技术
半导体检测
共聚焦显微镜


  • PJ12015-S 微型单轴压电位移台