动态特性高，满足高频运动需求
体积小，适配狭小空间安装使用
采用柔性铰链设计，使用无磨损，无需维护
电容传感器直接测量动定子相对位移，精度更高
•紧凑型一维X向压电位移台
•内部采用直驱设计，谐振频率高
•内置电容传感器，单向重复性2nm
•使用环境广泛，可水平、竖直、倒立安装
