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压电致动
PJ12015 紧凑型高动态单轴压电位移台
纳米级位置控制，内置高精度电容位移传感器，毫秒级响应
动态特性高，满足高频运动需求
体积小，适配狭小空间安装使用
采用柔性铰链设计，使用无磨损，无需维护
电容传感器直接测量动定子相对位移，精度更高
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- 产品规格
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产品概述
•紧凑型一维X向压电位移台
•内部采用直驱设计，谐振频率高
•内置电容传感器，单向重复性2nm
•使用环境广泛，可水平、竖直、倒立安装
应用领域
自动对焦系统
干涉测量
测量技术
半导体检测
共聚焦显微镜
超高分辨率显微镜
产品特点
