一维精密柔性铰链导向，保证运动的直线度
采用经过有限元分析优化的柔性铰链放大机构
表面采用黑色阳极氧化，安装面做导电处理
电容传感器直接测量动定子相对位移，精度更高
• 高精度的一维X向纳米运动平台
• 支持不同运动行程定制，行程覆盖50~500μm
• 内置电容传感器，闭环运动下线性度0.02％FS
• 结构紧凑，实心非中空设计，实现小体积大行程
