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压电致动
PJ2220 单轴大负载压电柔性铰链平台
纳米级位置控制，内置高精度电容位移传感器，毫秒级响应。
一维精密柔性铰链导向，保证运动的直线度
采用高刚度柔性铰链放大机构，保证高动态和承载能力
表面采用黑色阳极氧化，安装面做导电处理
电容传感器直接测量动定子相对位移，精度更高
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产品概述
• 高精度、大负载的一维X向纳米运动平台
• 支持不同运动行程定制，行程覆盖50~300μm
• 内置电容传感器，闭环运动下线性度0.03％FS
• 可水平、竖直、倒立安装，可定制中空设计
• 高动态，最大负载5kg，适用于物镜模组调焦或样品扫描
应用领域
自动对焦系统
干涉测量
测量技术
半导体检测
共聚焦显微镜
产品特点
