安徽见行科技PJ201 Z轴压电柔性铰链台

PJ201 紧凑型Z轴压电位移台

纳米级位置控制，内置高精度电容传感器，垂直精密定位

小体积大行程的压电位移台

内置高精度电容位移传感器，闭环线性度小于0.03%FS

内嵌式安装孔位设计,让运动平台体积进一步缩小

产品概述

• 多自由度误差抑制设计，进一步控制俯仰、偏摆误差

• 柔性铰链实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制

• 结构紧凑体积小，适用于狭小空间系统

应用领域

生物医学成像

半导体检测

光学精密调整

生物医学成像

半导体检测

光学精密调整

产品特点

采用柔性铰链系统

使用柔性铰链减小物镜偏摆耦合。柔性铰链系统可实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制，同时在极高频率的运动下也不会出现磨损，有较高的使用寿命，无需维护。

内置高精度电容传感器

内置电容传感器对位移台的运动进行反馈控制，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，有更高的闭环精度和闭环刚度，可支持更高速度的位置控制。

俯仰、偏摆性能优化

与传统Z轴运动平台相比，PJ201通过优化结构设计和机械装配，将运动台的俯仰、偏摆误差进一步降低，让Z轴运动更加精准。