小体积大行程的压电位移台
内置高精度电容位移传感器，闭环线性度小于0.03%FS
内嵌式安装孔位设计,让运动平台体积进一步缩小
• 多自由度误差抑制设计，进一步控制俯仰、偏摆误差
• 柔性铰链实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制
• 结构紧凑体积小，适用于狭小空间系统
