柔性铰链位移台 - 压电致动- 压电致动- 安徽见行科技有限公司

支持多轴运动，内置高精度电容传感器，纳米级位置控制，支持定制化设计。

全部单轴台双轴台多轴台物镜台

XYZ三轴压电位移台

X、Y闭环行程100μm

Z轴闭环行程15μm

三轴中空设计

纳米级分辨率

长行程物镜扫描台

最大行程400μm

分辨率1nm

内置电容传感器

线性误差0.03%FS

对称式大负载物镜扫描台

闭环行程220μm

分辨率2nm

内置电容传感器

线性误差0.03%FS

高负载物镜扫描台

80µm闭环行程

分辨率0.3nm

内置电容传感器

线性误差0.03%FS

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与见行并肩，齐绘精密定位新蓝图

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