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压电致动
PJ71x 长行程物镜扫描台
纳米级位置控制,内置高精度电容传感器,用于显微镜物镜的高精度定位和扫描
行程选择范围大，覆盖100~400μm不同行程
纳米级分辨率和高速动态响应能力
表面采用黑色阳极氧化，安装面做导电处理
内部结构紧凑，体积小
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产品概述
• 长行程物镜扫描台
• 标准品包括100~400μm不同行程多种型号
• 采用柔性铰链设计并联导向机构设计
• 可通过改变固定螺纹尺寸，匹配不同物镜
应用领域
自动对焦系统
干涉测量
测量技术
半导体检测
共聚焦显微镜
超高分辨率显微镜
产品特点
