闭环行程大，带载能力强
采用高刚度柔性铰链放大机构，保证高动态和承载能力
电容传感器直接测量动定子相对位移，精度更高
可通过改变固定螺纹尺寸，匹配不同物镜
• 常用于大负载、大行程的一维Z向物镜扫描台
• 采用柔性铰链设计并联导向机构设计
• 大行程的情况下仍然具有超高聚焦稳定性
• 行程可定制，满足不同应用需求
