高精度,高稳定性
能够断电自锁
支持专用控制软件以及指令集进行控制
高真空兼容
高精度，高稳定性
可实现快速启停
断电自锁
开口孔径：0.5-6.8mm；2-18mm
最小孔径变化量：1μm
光圈大小精确控制
可定制
