PJ3306 紧凑型两轴压电柔性铰链位移台

PJ3306压电位移台是一款紧凑型XY二维纳米运动平台

产品结构紧凑的同时行程可达80μm

产品分辨率高,闭环分辨率可达1nm

支持ID芯片功能,更换运动台部件无需重新校准

  • 产品概述
  • 产品规格
产品概述

• 内嵌式安装孔位设计,空间利用率高

• 串联式结构,耦合串扰小,运动精度高

• 配合控制器可支持快速扫描(如螺旋扫描、梯度扫描等)


应用领域
光学对准与光束稳定
微纳制造
半导体
光学对准与光束稳定
微纳制造
半导体
  • PJ3306紧凑型两轴压电柔性铰链位移台