PJ3306压电位移台是一款紧凑型XY二维纳米运动平台
产品结构紧凑的同时行程可达80μm
产品分辨率高,闭环分辨率可达1nm
支持ID芯片功能,更换运动台部件无需重新校准
• 内嵌式安装孔位设计,空间利用率高
• 串联式结构,耦合串扰小,运动精度高
• 配合控制器可支持快速扫描(如螺旋扫描、梯度扫描等)