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压电致动
PJ30x XYθz 多轴压电位移台
多轴并联运动，纳米级位置控制，内置高精度电容传感器
柔性铰链导向，无磨损，使用无需维护
采用经过有限元分析优化的柔性铰链放大机构
紧凑型设计，适合空间受限的集成系统
电容传感器直接测量动定子相对位移，精度更高
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产品概述
• 集成平移和旋转的多轴压电位移台
• 可选择X、Y两轴或X、Y、θz三轴两轴版本
• 采用并联运动学设计，响应速度更快，多轴精度更高
• 精度高，结构紧凑，大通孔设计满足多场景应用
应用领域
自动对焦系统
干涉测量
测量技术
半导体检测
共聚焦显微镜
产品特点
