安徽见行科技PJ511-3XYZ三轴压电位移台

PJ511-3 XYZ三轴压电位移台

多轴并联运动，纳米级位置控制，内置高精度电容传感器

Z轴高动态响应，空载谐振频率大于2000Hz

支持ID芯片功能，换运动台部件无需重新校准

高线性精度:X/Y轴线性误差0.02%FS，Z轴0.15%FS

电容传感器直接测量动定子相对位移，精度更高

产品概述

• X、Y轴闭环行程100μm，Z轴闭环行程15μm

• 三轴并联中空结构，便于光路穿透，适合光学应用

• 内部集成电容传感器，实现纳米级分辨率

应用领域

显微成像

3D微纳打印

表面检测

显微成像

3D微纳打印

表面检测

产品特点

采用柔性铰链系统

柔性铰链系统可实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制，同时在极高频率的运动下也不会出现磨损，有较高的使用寿命，无需维护。

内置高精度电容传感器

内置电容传感器对位移台的运动进行反馈控制，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，有更高的闭环精度和闭环刚度，可支持更高速度的位置控制。

支持ID芯片功能

运动台内部的ID芯片包含了运动台的伺服控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配运动台，因此更换运动台部件无需重新校准。