Z轴高动态响应，空载谐振频率大于2000Hz
支持ID芯片功能，换运动台部件无需重新校准
高线性精度:X/Y轴线性误差0.02%FS，Z轴0.15%FS
电容传感器直接测量动定子相对位移，精度更高
• 三轴并联中空结构，便于光路穿透，适合光学应用
• 内部集成电容传感器，实现纳米级分辨率
