新品发布 | PJ30x系列多轴压电位移台

见行科技的PJ301-3r压电位移台是一款大负载、高精度的X、Y、θz三维中空纳米运动平台。该平台采用经有限元分析优化的柔性铰链放大机构，并内置高精度电容位移传感器，X、Y方向的闭环行程可达100μm，线性度0.03%FS，θz方向的闭环行程可达2mrad。同系列的X、Y双轴压电位移台PJ3015，其闭环行程可达150μm。此类压电位移台广泛应用于微纳加工、样品扫描、显微镜、纳米定位、生物技术、测试应用以及半导体技术等领域。

本产品内置高精度电容位移传感器对位移台的运动进行反馈控制，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，本产品对动子和定子的相对位移进行直接测量，具有更高的闭环精度。产品线性误差0.03%FSO，双向重复定位精度达±15nm，最大负载5kg。

图示：产品实物

推荐控制器：

PE111.3通用数字式压电控制器，该控制器集成电容传感器测量电路，支持开环、闭环、数字控制、模拟控制等多种工作模式，通讯接口丰富，包含RS422、USB、Ethernet等。控制器由多个子模块构成，通过不同模块的搭配可以调整通道数量，最多支持6个通道，也可选择压电控制器或高压驱动器模式。

实物照片：产品配套控制器PE111.3

图示：上位机软件界面

图示：上位机软件界面

本产品的优势有哪些？

 1、高性能柔性铰链系统

本产品采用了高性能柔性铰链，实现无摩擦的高精度位移导向和纳米级位置控制，高频率运动也不会出现磨损，具有较高的使用寿命，无需维护。

2、中空结构、精度高

在中空结构下内置高精度电容位移传感器，保证了压电台的线性度和精度，压电台线性度0.03%，双向重复定位精度±15nm。

3、支持ID芯片功能

运动台内部的ID芯片包含了运动台的伺服控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配运动台，因此更换运动台部件无需重新校准。

图示：主要技术参数

下图为压电位移台走1nm台阶时，内部电容传感器的输出（采样速率100Hz）。

 如下图所示，PJ301-3r压电位移台带载2.5kg，10μm台阶阶跃响应曲线（配套控制器PE111.3），进入1%误差带的响应时间为62ms。图中曲线为压电台内部电容传感器的位移输出（采样速率25kHz，滑动平均，滑动窗25）。

图示：PJ301-3r压电位移台10μm阶跃响应

图示：PJ301-3r压电位移台10μm阶跃响应细节图

主要应用场景

本产品的主要应用场景包括：纳米定位、半导体技术、干涉测量、显微成像和生物技术等。