新品发布 | PJ3118紧凑型中空XY压电位移台

见行科技的PJ3118紧凑型中空XY压电位移台是一款紧凑型XY二维中空纳米运动平台。该平台内置高精度电容位移传感器，采用压电陶瓷驱动和无摩擦柔性铰链结构。X/Y方向的闭环行程可达180μm，重复定位精度单向10nm、双向30nm，线性误差0.03%FS。外尺寸为70mm×70mm，中间通孔尺寸为30mm×30mm。PJ3118在保持结构紧凑的同时仍可实现百微米级行程。凭借其纳米级分辨率和高速动态响应能力，PJ3118可广泛应用于高分辨率显微成像与光学检测、半导体制造与检测、生物技术与纳米操控、精密测量等领域。

图示：产品实物

推荐控制器：

PE111通用数字式压电控制器,该控制器集成电容传感器测量电路，支持开环、闭环、数字控制、模拟控制等多种工作模式，通讯接口丰富，包含RS422、USB、Ethernet等。控制器由多个子模块构成，通过不同模块的搭配可以调整通道数量，最多支持6个通道，也可选择压电控制器或高压驱动器模式。

实物照片：产品配套控制器PE111

图示：上位机软件界面

图示：上位机软件界面

本产品的优势有哪些？

 1、采用高性能柔性铰链系统

柔性铰链实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制，同时在高频率的运动下也不会出现磨损，有较高的使用寿命，无需维护。

2、结构紧凑，闭环精度高

本产品在紧凑尺寸下内置高精度电容位移传感器，与使用应变片进行反馈的系统相比，本产品对动子和定子的相对位移进行直接测量，具有更高的闭环精度。

3、支持ID芯片功能

运动台内部的ID芯片包含了运动台的伺服控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配运动台，因此更换运动台部件无需重新校准。

图示：主要技术参数

在闭环控制模式下，分别测试压电台X、Y轴位移20μm，稳定至±10nm误差带（阶跃行程的±0.05%）时所需的时间。压电台带载210g，内部传感器25ksps采集数据。得到X、Y轴阶跃时间均为100ms。

图示：X轴阶跃响应局部图像

图示：Y轴阶跃响应整体图像

主要应用场景

01光学与光子学：

（1）激光稳频与光束控制；

（2）自适应光学（AO）；

（3）干涉测量与全息术。

02显微成像与生物技术：

（1）共聚焦显微镜；

（2）超分辨显微镜（STED/PALM）；

（3）原子力显微镜（AFM）。

03半导体与精密制造:

（1）光刻与晶圆检测；

（2）微纳加工（FIB/E-beam）。