闭环行程30μm
线性误差0.03%FS
100g带载谐振频率1100Hz
• XY两轴高动态位移台
• 采用直驱式结构与柔性铰链技术
• 内置电容传感器直接测量动定子相对位移
• 满足高速扫描、振动补偿等动态应用需求
• 支持ID芯片功能，控制器通过ID芯片和适配运动台
