新品发布丨PJ3306紧凑型两轴压电位移台

发布日期:2026-02-10  来源:  浏览次数:46

见行科技的PJ3306压电位移台是一款高精度的X、Y二维纳米运动平台,闭环行程可达60μm。该平台采用经有限元分析优化的柔性铰链放大机构,并内置高精度电容位移传感器,具有纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比,本产品可直接测量动平台与静平台间相对位移,因而具有更高的闭环精度。

PJ3306压电位移台通过内嵌式安装孔位设计,优化空间利用率,使体积进一步缩小,整体体积仅40 mm×40 mm×27 mm。适用于样品扫描(如螺旋扫描与梯度扫描)、显微镜样品移动、微纳加工及纳米定位等领域。

图示:电机实物照片

推荐控制器:PE112通用数字式压电控制器

该控制器集成电容传感器测量电路,支持开环、闭环、数字控制、模拟控制等多种工作模式,通讯接口丰富,包含RS422、USB、Ethernet等。控制器由多个子模块构成,通过不同模块的搭配可以调整通道数量,最多支持6个通道,也可选择高压驱动器模式。

图示:控制器实物照片

图示:上位机软件界面

产品优势有哪些?

1.采用柔性铰链系统

柔性铰链系统可实现无摩擦的高精度位移导向,实现纳米级位置控制,同时在极高频率的运动下也不会出现磨损,有较高的使用寿命,无需维护。

2.体积小、行程大

通过内嵌式安装孔位设计,进一步缩小运动平台体积,PJ3306尺寸仅40 mm×40 mm×27 mm,闭环行程达60 μm。

3.内置高精度电容传感器

内置电容传感器对位移台的运动进行反馈控制,实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比,有更高的闭环精度和闭环刚度,可支持更高速度的位置控制。

性能参数

 

在闭环控制模式下,使用上位机程序对压电台施加6 μm(全行程的10%)的阶跃位移指令,分别测试X轴、Y轴从阶跃开始到稳定进入±1%(±60 nm)误差带所需的时间。测试时,压电台负载为110 g,位移数据由其内置传感器采集,采样率为25 ksps,并采用滑动平均滤波。测得X轴和Y轴的阶跃响应稳定时间分别为48 ms和46 ms。

图示: X轴阶跃响应整体图像

图示:X轴阶跃响应部分图像

图示:Y轴阶跃响应整体图像

图示:Y轴阶跃响应部分图像

主要应用场景有哪些?

主要场景包括:光学对准与光束稳定,半导体与微纳制造等场景。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

见行科技的PJ3306压电位移台是一款高精度的X、Y二维纳米运动平台,闭环行程可达60μm。该平台采用经有限元分析优化的柔性铰链放大机构,并内置高精度电容位移传感器,具有纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比,本产品可直接测量动平台与静平台间相对位移,因而具有更高的闭环精度。

PJ3306压电位移台通过内嵌式安装孔位设计,优化空间利用率,使体积进一步缩小,整体体积仅40 mm×40 mm×27 mm。适用于样品扫描(如螺旋扫描与梯度扫描)、显微镜样品移动、微纳加工及纳米定位等领域。

图示:电机实物照片

推荐控制器:

PE112通用数字式压电控制器

该控制器集成电容传感器测量电路,支持开环、闭环、数字控制、模拟控制等多种工作模式,通讯接口丰富,包含RS422、USB、Ethernet等。控制器由多个子模块构成,通过不同模块的搭配可以调整通道数量,最多支持6个通道,也可选择高压驱动器模式。

图示:控制器实物照片

图示:上位机软件界面

产品优势有哪些?

1.采用柔性铰链系统

柔性铰链系统可实现无摩擦的高精度位移导向,实现纳米级位置控制,同时在极高频率的运动下也不会出现磨损,有较高的使用寿命,无需维护。

2.体积小、行程大

通过内嵌式安装孔位设计,进一步缩小运动平台体积,PJ3306尺寸仅40 mm×40 mm×27 mm,闭环行程达60 μm。

3.内置高精度电容传感器

内置电容传感器对位移台的运动进行反馈控制,实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比,有更高的闭环精度和闭环刚度,可支持更高速度的位置控制。

性能参数

 

在闭环控制模式下,使用上位机程序对压电台施加6 μm(全行程的10%)的阶跃位移指令,分别测试X轴、Y轴从阶跃开始到稳定进入±1%(±60 nm)误差带所需的时间。测试时,压电台负载为110 g,位移数据由其内置传感器采集,采样率为25 ksps,并采用滑动平均滤波。测得X轴和Y轴的阶跃响应稳定时间分别为48 ms和46 ms。

图示: X轴阶跃响应整体图像

图示:X轴阶跃响应部分图像

图示:Y轴阶跃响应整体图像

图示:Y轴阶跃响应部分图像

主要应用场景有哪些?

主要场景包括:光学对准与光束稳定,半导体与微纳制造等场景。